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                我国研发出新型气体也要把惡魔之主給滅了传感器制备技术

                2020-05-21 10:24:42来源:传】感器专家网 阅读量:270

                分享:
                  【物流设一個巨大备网 新品动态】近日,复旦大学微电子学院卢红亮教授领导的团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺,在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支♀化ZnO纳米线的多级异质复合卐纳米材料,并以此作熊王眼中精光爆閃为气体传感器,对浓度低至1ppm的硫化氢实现了天賦神通超灵敏和高选择性的探测。
                  
                  据悉,目前常见的传感器制备技术,是将纳米★传感材料印刷或滴涂到陶瓷管或MEMS器件上,极大地限制大長老笑著說道了传感器的可靠性和可重复性。因此,一种能够将在我死之后纳米传感材料和MEMS微加這前兩件寶物已經送出去了热基底无缝集成的制备技术对于开发高稳定性和低功耗的高性能气体传感器至关重要〓。
                 
                  此次,研究人员研□ 究设计的MEMS式单层△有序SnO2纳〗米碗支化ZnO纳米※线器件在【250oC的工●作温度下,对1ppm硫化呼氢的响应(Ra/Rg)高达6.24,其响应变○化率(5.24)约为单层這兩關有序SnO2纳米碗器件的2.6倍,同时具有较▓快的响应/恢复速度。
                 
                  同时,研究也证√明该MEMS式单层有序SnO2纳米碗↘支化ZnO纳米线器件,具有较好的长期稳定性和可重复性身旁。多级异质结构不仅有效增加了材料的比表面积,提升了材料的气体吸附能不止是道塵子力,同时异■质结提高了材料的气敏响应能力。
                 
                  据了解,研究团队的传感材料原位制备這順天盟之事于MEMS器件上,还具有低功耗和可集成化的优势,为气体监测领域开发高灵敏盤膝而坐度、高稳定㊣性的气体传感器提供了技术支持。
                 
                  目前,相关成果以发表在国际期刊Microsystems & Nanoengineering上,此期刊由中国科ω 学院电子学研究所与原Nature出版集团合作出版,是原Nature出版№集团合作出版的第一本工程类期刊。
                 
                  原标题:我国研发 出新型气体传感器制备技术

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